MEMS器（qì）件冷熱衝擊試驗
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發（fā）布日期： 2020.09.02
1、目的
本試驗的目的是確定MEMS器件在遭到溫度劇變時的抵抗能力，以及溫度劇變產生的作用。
2、設備
所用的冷熱衝（chōng）擊（jī）試驗箱在加載負（fù）荷時，應（yīng）能為工作區提供並控製（zhì）規定的溫度。熱容量和液體流（liú）量必須能使工作區（qū）和負載滿足規定的試驗條件和計時（shí）要求。在試驗期間用指（zhǐ）示儀或記錄儀顯示監視（shì）傳感器的讀數，來連續監視壞情況負載（zǎi）溫度。按驗證冷熱（rè）衝擊試驗（yàn）箱工作特性（xìng）的要求（qiú），驗證負載條件和配（pèi）置下的壞情況負載溫度。用於條件B和（hé）C的過碳氟化合物應滿足表1的規定。
3、程序
樣品應放於冷熱衝擊（jī）試驗箱中的合適位置，使液體（tǐ）在樣品周圍的（de）流動不應受（shòu）到阻礙（ài），然後根據表2的規定，使負載進行條件B或其（qí）他規定的試驗條件進行15次循環。在完成規定試驗總循環數期間，為了進行器件批的加載或去載，或由於電源或設備故障，允許中斷試驗。然而，對任何給定的試驗，若中斷次數超過規定循環總次數的10%時，試驗必須重新從頭開始。
3.1 計時
從熱到冷或從冷到熱（rè）的總轉換時間不（bú）得超過10s。 當壞情況負（fù）載溫度達到表2規（guī）定的（de）極（jí），值範圍（wéi）內時，可以（yǐ）轉換負載。負載應在5min內達（dá）到規定的溫度，但停留時間（jiān）不得少於2min。
3.2 檢驗
後一次循環完成之後，不放大或放（fàng）大（dà）不超（chāo）過3倍對樣品標誌（zhì）進行外（wài）觀檢驗，放大（dà）20~50倍對外殼、引線或封口進行目檢(當本試驗用於100% 的篩選時至少應放大1.5倍（bèi）進行檢驗（yàn）)。本項檢驗和任何補充規（guī）定的測量及檢驗，都應在後一次循環完成（chéng）之後進行（háng），如果某試驗組、步或（huò）分組包括本試（shì）驗，則（zé）在該試驗組、步或分組完成之後（hòu）進行。
3.3失效判據
試驗後，任何規（guī）定的終點測量或檢（jiǎn）驗不合格（gé），外殼、引線或封口的缺陷或（huò）損壞跡象（xiàng），或標誌模糊，均應視（shì）為失效。試驗期間由於夾具或（huò）操作不當造成標誌損壞，不應影響器件（jiàn）的接收。
