MEMS器件冷熱（rè）衝擊試驗
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來源：
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發布日期： 2020.09.02
1、目的
本試驗的目的是確定MEMS器件在遭（zāo）到（dào）溫度劇變時的（de）抵抗能力，以及（jí）溫度劇變產生（shēng）的作用。
2、設備
所用的冷熱衝擊試驗箱在加載負荷時，應能為工作區提（tí）供並控製規定的溫度。熱（rè）容量和液體流量必須能使工作（zuò）區和負載滿足規（guī）定（dìng）的試驗條件和計時（shí）要求（qiú）。在試驗（yàn）期間用指示（shì）儀（yí）或記錄儀顯示監視傳感器的（de）讀數，來（lái）連續監視壞情況負載溫度（dù）。按驗證冷熱（rè）衝擊試驗箱（xiāng）工作特性的要求，驗證負載條件和配置下的（de）壞（huài）情況負載（zǎi）溫度（dù）。用於條件B和C的過碳氟化合物應（yīng）滿足表1的（de）規定。
3、程序
樣（yàng）品應放於冷（lěng）熱（rè）衝擊試驗箱中的合（hé）適位置，使液體在樣品周圍的流動不應受到阻礙，然後根據表2的規定，使負載進行條件B或其他規定的試驗條件進行15次循環。在完成規定試驗總循環數期間，為了進行器件批的加載或（huò）去載，或（huò）由於電源或設備故（gù）障，允許中斷試驗。然而，對任何（hé）給定的試驗，若中斷次數超過規定（dìng）循環總次數的10%時，試（shì）驗必須重新從頭開始。
3.1 計時
從熱到冷或從冷到熱的總轉換時間不得（dé）超過10s。 當壞情況（kuàng）負載（zǎi）溫度達到表（biǎo）2規定的極，值範（fàn）圍內時，可以轉換負載。負載應在5min內達到規定（dìng）的溫度，但停留時間不得少於2min。
3.2 檢驗
後一次循（xún）環完成（chéng）之後，不放大或放大不超過3倍對樣品標誌進行外（wài）觀檢驗，放大20~50倍對外殼、引線或封口進行目檢(當本試驗用於100% 的篩選時至少應放大1.5倍（bèi）進行檢驗)。本項檢驗和任何補充規定的測量及檢驗，都應在後一次循（xún）環完成之後進行，如果某試驗組、步或分組包括本試（shì）驗，則（zé）在該試驗組、步或分組完成之後進行。
3.3失效判（pàn）據
試驗後，任何規定的終（zhōng）點測量或（huò）檢驗不合（hé）格，外（wài）殼、引線或封口的缺陷或（huò）損壞跡象，或（huò）標誌模糊，均應視為失效。試驗期間由（yóu）於夾具或操作不當（dāng）造成標誌損壞，不應影響器件的接收（shōu）。
