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18um銅線產品可靠性測(cè)試

作者: salmon範(fàn) 編輯: 草莓视频网站儀器 來源: www.tuyatang.com 發布日期: 2020.11.11
    待完成(chéng)芯片的封裝以後,需要對(duì)產品進行可靠性方麵的測試,以(yǐ)保證在長期使用中的可靠性。可靠性實驗在封裝中由Precon和Long term Test兩部分(fèn)組成。
    1、可靠性測試項目簡(jiǎn)介
    1.1 Precon介紹

    又稱MRT,是用來模擬芯片從運輸到上板的整個流程(圖5-1)。


流程(chéng)圖


    (1) TEMP Cycle Test
    TC的條件是-55℃~125℃,5個周期;用來模擬芯片運輸過程中高低溫的變化,尤其是針對(duì)空運。
    (2) Dry Bake
    Dry Bake的條件是125℃下儲存24小(xiǎo)時,用來模擬為芯片打包(bāo)過程中的高溫狀況。
    (3) Temp&Humidity Test

    T&H的條件分為6級(jí),用來模擬芯片在生產過程中環境溫度和濕(shī)度,通常我們使用Level3 (表(biǎo)5-1)。


TH分(fèn)級


    (4) IR Reflow

    IR Reflow的條件是在在240度的烘箱內過三遍,用來模(mó)擬(nǐ)芯片在做SMD時的狀況(圖5-2)。


Reflow示意圖


    (5) O/S Test
    O/S Test 是用來測試(shì)芯片內部短路開路情(qíng)況,因為用來做MRT的芯(xīn)片都是通過初期電性(xìng)能測試的,所以O/S測試用來驗證MRT的條件會不會(huì)有因為封裝造成的失效。
    (6)SAM

    SAM也叫SAT,是(shì)用超聲波來做斷層掃描的一種檢(jiǎn)測方法,利用超聲波在不同表麵(miàn)會造成反射的(de)原理(圖5-3),可以檢測到(dào)材料中的不同材料之間斷層等等(děng),在BGA封(fēng)裝中可以(yǐ)檢測銀(yín)漿空洞(EpoxyVoid),環(huán)氧樹(shù)脂(zhī)空洞(dòng)(MoldVoid),樹脂與芯片之間的斷層( Delamination)等等。


SAM原理示(shì)意圖


    SAT根(gēn)據觀測手段分為A SCAN,B SCAN,C SCAN和TSCAN.本實(shí)驗內用到C SCAN。

    1)A SCAN:由於(yú)材料(liào)之間會(huì)發生反射,將示(shì)波器(qì)的到反(fǎn)射的波形來和正常波形進行對比,來判斷在什麽位置發生(shēng)問題(圖5-4)。


SCAN波形


    2)B SCAN:在元器件的垂直方向做切片式(shì)掃描。

    3)T SCAN:與A SCAN相(xiàng)反,T SCAN利用另一個探頭接受穿透後的超聲(shēng)波,轉化成電(diàn)信(xìn)號(hào)來分析(圖5-5)。


SCAN 原理及波形


    4)C SCAN:元器(qì)件的水平方向做切片式掃描,C SCAN是(shì)我們此次(cì)試驗(yàn)中需要用到的。
    進行CSCAN時,需要(yào)首先將超聲波的能量焦點置於需(xū)要檢查的位置,即固定的水平麵(miàn),啟動描後探頭(tóu)對整個元器件進行逐行掃描,原理仍然是不同物體間的(de)反射,整個過程結束後,計(jì)算機自動合成結果,但是需要(yào)人工判斷缺陷(圖5-6)。

    C SCAN是精確(què)的空洞,斷層等缺陷的分析方法。


C SCAN掃描圖


    1.2耐(nài)久性實驗介紹(Long Term Test )

    耐(nài)久性(xìng)實驗既是芯片的老化試驗,浴盆曲線代(dài)表了半(bàn)導體(tǐ)器件的失效分(fèn)布和時間的關係,48小時內的前期失效是屬於潛在的質量問題,在(zài)48小時到(dào)106小時內是失效率相對較低的,106 小時後屬於老化失效(圖5-7)。所以,根據芯(xīn)片的不同用途,耐久性實驗也分為不同的級別,如下圖: 


浴盤曲線


    對於不同(tóng)的芯片封裝結(jié)構,用途等考量,試驗者會選取具有針對性的可靠性測試的項目,我(wǒ)們此次隻是金(jīn)線更換銅線的線材(cái)更換(huàn)試驗,所以根據查(chá)閱(yuè)公司規範文件,需要做的可靠性測試是MRT,TC和HTS,可(kě)選項HAST,如(rú)下表5-1:


材料與測試項對應表


    以下(xià)針對高低溫測試(shì)(TC),高溫存儲測試(HTS),高壓潮氣測試(shì)(HAST)  三種測試做一個簡單的介紹。
    (1)高低溫衝擊(jī)測試(Temp Cycle Test)
    半導體(tǐ)器件工作和不工作的溫度相差比較大,TC測試用來測(cè)試芯片本身由於熱脹冷縮導致的材料間分層,根(gēn)本(běn)原(yuán)因(yīn)是由於不(bú)同材料的熱膨脹係數不同。
    TC的測試條件是:
    1)溫度: -65℃~150℃
    2)時間: 15Min/區間

    3) 1000 Cycle


TCT示意圖


    T/C以後的失效模式主要是Open/Short的失效。

    1) Open 的失效來源於EMC與芯片表麵分層導致的焊球脫離或焊(hàn)線斷裂(圖5-9)。


焊線斷裂SEM照片


    2) Short 的失效(xiào)來源(yuán)於Chip Crack (圖5-10)。


Chip Crack示(shì)意圖


    (2)高溫存儲測試(High Temp Storage Test )

    半導(dǎo)體器件持(chí)續運行的問(wèn)題很高,高溫會加速一(yī)些材料間的分子級別的擴散,主要集中在焊球和焊盤之間,由於擴散(sàn)速度不同的加(jiā)速,導致產生(shēng)Kirkendall空洞(dòng),嚴重者會造成焊點分離(圖5-11)。


K V示意圖-1


K V示意圖



    HTS的測試條件(jiàn)是:
    1)溫(wēn)度: 150℃
    2)時間: 1000hrs
    HTS以後主要(yào)的失效模式是Open失效。
    (3)高壓潮氣測試(Highly Accelerated Stress Test)
    芯片(piàn)在(zài)使用過程中會遇(yù)到不同的外部環境,HAST測試既是模擬了(le)芯片(通常是商用和民用)會遇到的高壓高濕度的環境。
    潮氣在高溫(wēn)的作用下會滲透進封裝內部,和芯片內的金屬發生(shēng)氧化反應,造成一定的破壞。
    HAST的測試條件是:
    1)溫度: 130℃ 
    2)濕(shī)度: 85%
    3)時間: 168hrs
    HAST的主要失效模(mó)式是Open/Short。

    1) Open 主要是潮氣對(duì)焊盤的腐蝕(shí),造(zào)成(chéng)了虛焊(圖5-12)。


焊盤腐蝕前後對比圖(tú)


    2) Short 主要是由於潮氣(qì)的滲入,造成了EMC內部有漏電(圖5-13)。


漏電現象圖


    1.3銅線封(fēng)裝的(de)可靠性測試流(liú)程
    芯(xīn)片封裝(zhuāng)的可靠性測試流程通常(cháng)是Precon+Long Term Test, 通過Precon測試的芯片將繼續進行耐久性的測試。

    芯片測試數量的選(xuǎn)取按(àn)照客戶對於(yú)芯片可靠性等級的要求來確定,通常是SQB評估(Qual Level B),所以必須設置3個實驗組,每個實(shí)驗組的數量是22+3x77=253 (表5-2)。


SQB實驗數量要求


    (1) MRT的條件

    MRT的(de)條件如下(xià)表(biǎo)5-3:


MRT的條件


    (2)Long Term的條件

    Long Term的條件如下表5-4:


Long TERM的條件


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