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18um銅線產品可靠(kào)性測試

作者: salmon範(fàn) 編輯(jí): 草莓视频网站儀器 來源: www.tuyatang.com 發布日期: 2020.11.11
    待完(wán)成(chéng)芯片的封裝以後,需要對產品進行可(kě)靠(kào)性方麵的測(cè)試,以保證在(zài)長期使用中的可(kě)靠性。可靠性實(shí)驗在封裝中由(yóu)Precon和(hé)Long term Test兩(liǎng)部分組成。
    1、可靠性測試項目簡介
    1.1 Precon介紹

    又稱MRT,是用來模擬芯片從(cóng)運輸到(dào)上板的整個流程(圖5-1)。


流程圖


    (1) TEMP Cycle Test
    TC的條件是-55℃~125℃,5個周期;用(yòng)來模擬芯片運輸過程中高低溫的(de)變化,尤其是針對空運。
    (2) Dry Bake
    Dry Bake的條件是125℃下儲(chǔ)存24小時(shí),用(yòng)來模擬為芯片打(dǎ)包過程中的高溫狀(zhuàng)況。
    (3) Temp&Humidity Test

    T&H的條件分為6級,用來模擬芯片在生產過程中環境溫度和(hé)濕度,通常(cháng)我們使用Level3 (表5-1)。


TH分級(jí)


    (4) IR Reflow

    IR Reflow的條件是在在240度的烘箱內過(guò)三遍,用(yòng)來模擬芯片在做SMD時的狀況(圖5-2)。


Reflow示意圖


    (5) O/S Test
    O/S Test 是用來測試芯片內部短路開路情況,因為用來做MRT的芯片都是(shì)通過初期電性能測試的,所(suǒ)以O/S測試用來驗證(zhèng)MRT的條件會不會有因為封裝造(zào)成的失效。
    (6)SAM

    SAM也叫SAT,是用超聲波來做斷(duàn)層掃描的一種檢測方法,利用超聲波在不同表麵會造成反射的原理(圖5-3),可(kě)以檢測到材料中的不同材料之間斷層等等,在BGA封(fēng)裝(zhuāng)中可以檢測銀(yín)漿(jiāng)空洞(EpoxyVoid),環氧樹脂(zhī)空洞(MoldVoid),樹(shù)脂與芯片之(zhī)間(jiān)的斷(duàn)層( Delamination)等等。


SAM原理(lǐ)示意圖


    SAT根(gēn)據觀測手段分為A SCAN,B SCAN,C SCAN和TSCAN.本實驗內用到C SCAN。

    1)A SCAN:由於材(cái)料之間會發生反(fǎn)射,將示波器的到反射的波形來和正常波形進行對比(bǐ),來判斷在(zài)什麽(me)位置發(fā)生問題(圖5-4)。


SCAN波形


    2)B SCAN:在元器件的垂直方向做切片式掃描。

    3)T SCAN:與A SCAN相反,T SCAN利用另一個探頭接受穿透後的超聲波(bō),轉化(huà)成電信號來(lái)分析(圖5-5)。


SCAN 原理及波形


    4)C SCAN:元器件的水平方向做切片式掃描(miáo),C SCAN是(shì)我們此次試(shì)驗中需要用到的。
    進(jìn)行CSCAN時,需要首先將超聲波的能量焦點置於需(xū)要(yào)檢查的位置,即固定(dìng)的水平麵,啟動描後探頭對整個元器件進行逐行掃描,原理仍然是不同物體間的反射,整個過程(chéng)結束後,計算機自動合成結果,但是需要人工判斷缺陷(圖5-6)。

    C SCAN是精確的空洞(dòng),斷層等缺陷的分(fèn)析方法。


C SCAN掃描圖


    1.2耐久性實驗介紹(Long Term Test )

    耐久性實驗既是芯片的(de)老化試驗,浴盆曲線代表了半導體器件的失效分(fèn)布和時間的關係,48小時內的前期失效是屬於潛在的質量問題,在48小(xiǎo)時到106小時內是失效率(lǜ)相對較低的,106 小時後(hòu)屬於老化(huà)失(shī)效(圖5-7)。所以,根據芯片的不同用途,耐久性實驗也分為不同的級別,如下圖: 


浴盤曲線(xiàn)


    對於不同的芯片(piàn)封裝結構(gòu),用途等考量,試驗者會選取具有針對(duì)性的可靠性測試的項目,我們此次隻是金線更換銅線的線材(cái)更換試驗,所(suǒ)以根據查閱公司規範文件,需要做的可靠性測試是MRT,TC和HTS,可選項HAST,如下表5-1:


材料與(yǔ)測試項對(duì)應表


    以下針對(duì)高低溫測試(TC),高溫存儲測試(HTS),高壓潮氣測試(HAST)  三種測試做一個簡單的(de)介紹。
    (1)高(gāo)低溫衝擊測試(Temp Cycle Test)
    半導體器(qì)件工作和不工作的(de)溫(wēn)度相差比較大,TC測試用來測(cè)試芯片本身由(yóu)於熱(rè)脹(zhàng)冷(lěng)縮導致的材料間分層(céng),根本(běn)原因是(shì)由於不同材料的熱膨脹係數不(bú)同。
    TC的測試條件是:
    1)溫度: -65℃~150℃
    2)時間: 15Min/區間

    3) 1000 Cycle


TCT示意圖


    T/C以後的失效模式主要是Open/Short的失(shī)效。

    1) Open 的失效來源於EMC與(yǔ)芯(xīn)片表麵分層導(dǎo)致的焊球脫離或焊線斷裂(圖5-9)。


焊線斷裂SEM照(zhào)片


    2) Short 的失效(xiào)來源於Chip Crack (圖5-10)。


Chip Crack示意圖


    (2)高溫存儲(chǔ)測試(High Temp Storage Test )

    半導體器件(jiàn)持續運行的(de)問題很高,高溫會加速一些(xiē)材料間的分子級別的(de)擴散,主要集中在焊(hàn)球和焊(hàn)盤(pán)之間,由於擴散速度不同的加速,導致(zhì)產(chǎn)生Kirkendall空洞,嚴重者會造成焊點分離(圖5-11)。


K V示意圖-1


K V示意圖



    HTS的測試條件是:
    1)溫度: 150℃
    2)時間: 1000hrs
    HTS以後主要的失效模式(shì)是Open失效。
    (3)高壓潮氣測試(Highly Accelerated Stress Test)
    芯片在使用過程中會遇到不同的外部環境,HAST測試既是模擬了芯片(piàn)(通常是商用和民用)會遇到的高壓(yā)高濕度(dù)的環境。
    潮氣在高(gāo)溫的作用下(xià)會滲透進封裝(zhuāng)內部,和芯片內(nèi)的金屬(shǔ)發生(shēng)氧化反應,造成一定的破壞。
    HAST的測試條件是:
    1)溫度: 130℃ 
    2)濕度: 85%
    3)時間(jiān): 168hrs
    HAST的主要失效模式是Open/Short。

    1) Open 主(zhǔ)要是潮氣對焊盤的腐蝕,造成了虛焊(圖5-12)。


焊盤腐蝕前後對比圖


    2) Short 主要是由於潮氣的滲入,造成了EMC內部有漏電(圖5-13)。


漏電現(xiàn)象圖


    1.3銅線封裝的可靠性測試流程
    芯片封裝的(de)可靠性測試流程通常是Precon+Long Term Test, 通過Precon測試的芯片將繼續進行耐(nài)久性的測試。

    芯片(piàn)測試數量的選取按照(zhào)客戶(hù)對於芯片(piàn)可靠性等級的要求來(lái)確(què)定(dìng),通常是SQB評估(Qual Level B),所以必須設(shè)置3個實驗(yàn)組,每個實驗組的數量是22+3x77=253 (表(biǎo)5-2)。


SQB實驗數量(liàng)要求


    (1) MRT的條件

    MRT的條件如下表5-3:


MRT的條件


    (2)Long Term的條件

    Long Term的條件如(rú)下表5-4:


Long TERM的條(tiáo)件


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