微光機電（diàn）係統(MicroElectroMechanicalSystems-——MEMS)，以下簡稱（chēng）MEMS。MEMS是融合（hé）了矽微加工、LIGA(光刻（kè）、電鑄和塑鑄)和精密（mì）機械加工等（děng）多種微（wēi）加工技術，並應用現代信（xìn）息技術（shù）構成的微（wēi）型係統。它在微電子技術的基礎上發展起來的，但又區別於微電子技術。它包括感知外界信息(力、熱、光、磁、電、聲等)的傳感器和控製對象的執行器，以及進（jìn）行信號（hào）處理（lǐ）和控製的電路。MEMS器件和傳統的機器相比，具有體積小、重量輕（qīng）、耗能低、溫升小、工作速度快、成本低、功能強（qiáng）、性能好等特（tè）點。