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解讀:IC產品高溫(wēn)濕熱可靠性測試

作者(zhě): salmon範 編輯: 草莓视频网站儀器 來源: www.tuyatang.com 發布日期: 2014.08.15
    質(zhì)量(Quality)和可靠性(Reliability)在一定程度上可以(yǐ)說是IC產品的生命。質量(Quality)就是(shì)產品性能的測量,它回答了一個產品是否合乎(hū)規格(SPEC)的要求,是否符合(hé)各項性能指標的(de)問題;可靠性(Reliability)則是對產品耐久(jiǔ)力的測量,它回答了一個產品生命周期有多長,簡單說,它能用多久的問題。所以說質量(Quality)解決的是現(xiàn)階段的問題,可靠性(Reliability)解決的是一段時間以後的(de)問(wèn)題。知道了兩者的區別,我們發現,Quality的問題(tí)解決方(fāng)法往往比較直接,設計和製造單位在產品生產出來後,通過簡單的高壓加(jiā)速老化試驗箱測試,就可以知道(dào)產品的性能是否達到SPEC的要求,這種測試在IC的設計和製造單位就可以進行(háng)。相對而言,Reliability的問題似乎就變的十分(fèn)棘(jí)手,這(zhè)個產品能用多久,誰會能保證今天產(chǎn)品能用,明天(tiān)就一定能用?
    為(wéi)了解決這個問題,人們製定(dìng)了各種各樣的標準,如: JESD22-A108-A、EIAJED- 4701-D101,注:JEDEC(Joint Electron Device Engineering Council)電子(zǐ)設備工程聯合委員會,著名國際電子行業標(biāo)準化組織之一;EIAJED:日本電子工(gōng)業協(xié)會,著名國際(jì)電子行業標準化組織之一。
    在介(jiè)紹一些目前較為流行的Reliability的測試方(fāng)法之前,我們先來認識一下IC產品的生命周期。典型的IC產(chǎn)品(pǐn)的生(shēng)命周期可以用一條(tiáo)浴缸曲線(xiàn)(Bathtub Curve)來(lái)表示。
浴缸(gāng)曲(qǔ)線
    Region (I) 被稱為早夭期(Infancy period)
    這個階段產品的 failure rate 快(kuài)速下降,造成(chéng)失(shī)效的原因在於IC設計和生產過程中的缺陷;
    Region (II) 被稱為使用期(Useful life period)
    在這個階段產品(pǐn)的failure rate保持穩定,失效的原因往往是(shì)隨(suí)機的,比(bǐ)如溫度變化等等;
    Region (III) 被稱為磨耗期(Wear-Out period)
    在這個階段failure rate 會快速升(shēng)高,失效的原因就是(shì)產品的長期使用所造成的老化等。 
    認識(shí)了典型IC產品的生命(mìng)周期,我們就可以看到,Reliability的問(wèn)題(tí)就是要力圖將處(chù)於(yú)早夭期failure的產品去除(chú)並估算其良率(lǜ),預計產品(pǐn)的使用期,並且找到failure的原因,尤其是(shì)在IC生產(chǎn),封裝,存儲等方麵出現的問題(tí)所造成的失效原因。 
    下麵就是一些 IC產(chǎn)品可靠性等級測試項目(mù)(IC Product Level reliability test items )
    一、使用壽命(mìng)測試項目(Life test items):EFR, OLT (HTOL), LTOL 
    ①EFR:早期失效(xiào)等級(jí)測試( Early fail Rate Test )
    目的:評估工(gōng)藝的穩定(dìng)性,加速缺陷失效率,去除由於天(tiān)生原(yuán)因失(shī)效的產品(pǐn)。 
    測試條件: 在(zài)特定時間內動態提升溫度和(hé)電壓對產品進行測試 
    失效機製:材料或工藝的缺陷,包括諸如氧化(huà)層缺陷,金屬刻鍍,離子(zǐ)玷汙(wū)等由於生產造成的失效。
    具體的測試條件和估算結果可參考以下(xià)標準:JESD22-A108-A ;EIAJED- 4701-D101 。
    ②HTOL/ LTOL:高/低(dī)溫操(cāo)作生命(mìng)期試驗(High/ Low Temperature Operating Life )
    目的:評(píng)估器件在超熱和超電壓情況下一段(duàn)時間的耐久力 
    測試條件:125℃,1.1VCC, 動態測試 
    失效機製:電子遷移,氧(yǎng)化層(céng)破裂,相互擴散,不穩定性,離子玷汙等 
    參(cān)考標準: 
    125℃條件下1000小時測試(shì)通過(guò)IC可以保證持續使用4年,2000小時測(cè)試持續使用8年;
    150℃ 1000小時測試通過保證使用8年,2000小時保證使用28年。
    具體的測試條件和估算結果可參(cān)考以下標準 :MIT-STD-883E Method 1005.8 ;JESD22-A108-A ;EIAJED- 4701-D101 。
    二、環境測試(shì)項目(mù)(Environmental test items) 
    PRE-CON, THB, HAST, PCT, TCT, TST, HTST, Solderability Test, Solder Heat Test 
    ①PRE-CON:預處理測試( Precondition Test )
    目的:模擬IC在使用之前在一定濕(shī)度,溫度條件下存儲的耐久力,也就是IC從生(shēng)產到使(shǐ)用之間存儲的可靠性。 
    測試流程(Test Flow):
    Step 1:超聲掃描儀 SAM (Scanning Acoustic Microscopy) 
    Step 2: 高低溫循(xún)環(Temperature cycling )
    -40℃(or lower) ~ 60℃(or higher) for 5 cycles to simulate shipping conditions 
    Step 3:烘烤( Baking )
    At minimum 125℃ for 24 hours to remove all moisture from the package 
    Step 4:浸泡(Soaking )
    Using one of following soak conditions 
    -Level 1: 85℃ / 85%RH for 168 hrs (儲運時間多久都(dōu)沒關係) 
    -Level 2: 85℃ / 60%RH for 168 hrs (儲運時間一年左右) 
    -Level 3: 30℃ / 60%RH for 192 hrs (儲運時間一周左右)
    Step5:Reflow (回流焊)
    240℃ (- 5℃) / 225℃ (-5℃) for 3 times (Pb-Sn) 
    245℃ (- 5℃) / 250℃ (-5℃) for 3 times (Lead-free) 
    * choose according the package size 
    Step6:超聲掃描儀 SAM (Scanning Acoustic Microscopy)
BGA在回流工藝中由於濕度原因而(ér)過度膨脹所導致的分層/裂紋
BGA在回流工藝中由於(yú)濕度原(yuán)因(yīn)而過度膨脹所(suǒ)導致的分層/裂紋
    具(jù)體的測(cè)試條件和估算結果可參考以下標準:JESD22-A113-D;EIAJED- 4701-B101。
    評(píng)估結果:八種耐潮濕分級和車間壽命(floor life),請參(cān)閱 J-STD-020。
    注(zhù):對於6級,元件使用(yòng)之前必(bì)須經過烘焙,並且必須在潮濕敏感注意標貼上所規定的(de)時間限定內回流。
    提示:濕度總是困擾在電子係統背後的(de)一個(gè)難題。不管(guǎn)是在空氣流通的熱帶區域中(zhōng),還是在潮濕的區域中運(yùn)輸,潮濕都是顯著增加電子工業開支的原因(yīn)。由於潮濕敏感性元件(jiàn)使用的增加,諸如薄的(de)密間距元件(fine-pitch device)和球柵陣列(BGA, ball grid array),使得對這個失效機製的關注(zhù)也增加(jiā)了。基於此原因,電子製造商們必(bì)須為(wéi)預防潛在災難支付高昂的開支。吸收到內部的潮氣是半導體封裝的問題。當其固定(dìng)到PCB板上時,回流焊快速(sù)加(jiā)熱將在內部形成壓力。這種高速膨脹,取決(jué)於不同封裝結構材料的熱(rè)膨脹係數(CTE)速率不同,可能產生封裝所(suǒ)不能承受的壓(yā)力(lì)。當元件暴露在回流焊接期間升高的溫度(dù)環境下,陷於塑料的表麵(miàn)貼裝元件(SMD, surface mount device)內部的潮濕會(huì)產生足(zú)夠的蒸汽壓力損傷或毀壞元件。常見的失效模式包括塑料從芯片(piàn)或(huò)引腳(jiǎo)框上的內部(bù)分離(脫層)、金線焊(hàn)接損傷、芯片損傷、和不會延伸到元件表麵的內部裂紋等。在一些極端的情況中,裂紋會延(yán)伸到元件的表麵;嚴重的情況就是元件鼓脹和爆裂(叫做“爆米花(huā)”效益)。盡管(guǎn)現在,進行回(huí)流焊操作時,在180℃ ~200℃時少量的濕度(dù)是可以接受的。然而,在230℃ ~260℃的範圍中的無鉛工藝裏,任何濕度的(de)存在都能夠形成足夠導致破壞封裝的小(xiǎo)爆炸(爆(bào)米花狀)或材料分層(céng)。必須進行(háng)明(míng)智的封裝材料選擇、仔細控製的組裝環境和在運輸中采用密封包裝及放置(zhì)幹燥劑等措施。實際上國外經常使用裝備有射頻(pín)標簽的濕度跟蹤係(xì)統、局部(bù)控(kòng)製單元和專用軟件來顯示封裝(zhuāng)、測(cè)試流水線、運輸/操作及組裝操作中的濕度(dù)控製。
封裝試驗
    ②THB: 加速式溫濕度及偏壓測試(Temperature Humidity Bias Test )
    目(mù)的(de):評估IC產品在高溫,高濕,偏壓條(tiáo)件下對濕氣的抵抗能力,加速其失效進程。
    測試條件:85℃,85%RH, 1.1 VCC, Static bias 
    失效機製:電(diàn)解腐蝕 
    具體的測試條件和估算結果(guǒ)可參考以(yǐ)下標準:JESD22-A101-D;EIAJED- 4701-D122 
    Leakage failure
    ③高加速溫濕度及偏壓測試(HAST: Highly Accelerated Stress Test )
    目的:評估(gū)IC產品在偏壓下高溫,高濕,高氣壓條(tiáo)件下對濕度的抵抗能力,加速(sù)其失效過程。
    測試條件:130℃, 85%RH, 1.1 VCC, Static bias,2.3 atm 
    失效機製:電離腐蝕,封裝密封性 
    具體的測試條件和估(gū)算結果可參考以下(xià)標準:JESD22-A110 
    Au Wire Ball Bond with Kirkendall Voiding
    ④PCT:高壓蒸煮試驗 Pressure Cook Test (Autoclave Test) 
    目的:評估(gū)IC產品在高溫,高濕,高(gāo)氣壓條件下(xià)對濕度的抵抗能力,加速其失效過(guò)程。
    測試(shì)條件:130℃, 85%RH, Static bias,15PSIG(2 atm) 
    失效機製:化學金屬腐蝕,封裝密封性 
    具體(tǐ)的測試條件和估算結果可參考(kǎo)以下標準:JESD22-A102;EIAJED- 4701-B123 
    *HAST試驗箱與THB試驗箱的區別在於溫度更高,並且考慮到壓力因素,實驗時間可以縮短, 而PCT試驗箱則不加(jiā)偏(piān)壓,但濕度增大。 
    Bond pad corrosion
    ⑤TCT: 高(gāo)低溫循環試驗(Temperature Cycling Test )
    目的:評估IC產品中具有不(bú)同熱膨脹係數的金屬之間的界麵的(de)接觸良率。方(fāng)法是通過循環(huán)流動的空氣從高溫到低溫重複變化。 
    測試條件:
    Condition B:-55℃ to 125℃ 
    Condition C: -65℃ to 150℃ 
    失效機製:電介質的斷(duàn)裂,導(dǎo)體(tǐ)和絕緣體的斷裂,不同界麵的分層 
    具體的測試條件和估算結果可參考以下標準:MIT-STD-883E Method 1010.7;JESD22-A104-A;EIAJED- 4701-B-131 
    Ball neck broken by die top de-lamination after Temp cycling
    ⑥TST: 高低溫衝(chōng)擊試驗(Thermal Shock Test )
    目的:評估(gū)IC產品中具有不同熱膨脹係數的金屬之間的(de)界麵的接(jiē)觸良率。方法是通過循環流動(dòng)的液(yè)體從高溫(wēn)到低溫重複變化。
    測試條件: 
    Condition B: - 55℃ to 125℃ 
    Condition C:- 65℃ to 150℃ 
    失效機製(zhì):電介質的斷裂,材料的(de)老(lǎo)化(huà)(如bond wires), 導體機械(xiè)變形 
    具體的測試條件和估算(suàn)結果可參考以下標準:MIT-STD-883E Method 1011.9;JESD22-B106;EIAJED- 4701-B-141 
    * TCT與TST的區別在於TCT偏重於package 的測試,而TST偏重於晶園(yuán)的測試 
    Metal crack and metal shift after thermal Shock
    ⑦HTST: 高溫儲存試驗(High Temperature Storage Life Test )
    目的:評估IC產品(pǐn)在實際使用之前在高溫條件下保持幾(jǐ)年不工作(zuò)條件下的生(shēng)命時間(jiān)。 
    測試條件(jiàn):150℃ 
    失效機製:化學和擴散效應,Au-Al 共金效應(yīng) 
    具體的測試條件和估算結果可參考以(yǐ)下標準:MIT-STD-883E Method 1008.2;JESD22-A103-A; EIAJED- 4701-B111 
    Kirkendall Void
    ⑧可焊性試(shì)驗(Solderability Test )
    目的:評估IC leads在粘錫過程中的可靠度 
    測試方法:
    Step1:蒸汽老化8 小時 
    Step2:浸入(rù)245℃錫盆中 5秒 
    失效(xiào)標準(Failure Criterion):至(zhì)少95%良率 
    具體的測試條件和估算結果可參考以下標準:MIT-STD-883E Method 2003.7;JESD22-B102。
    poor solderability of the pad surface
    ⑨SHT Test:焊接熱量耐久測試( Solder Heat Resistivity Test )
    目的:評估IC 對瞬間高溫的敏感度 
    測試方法:侵入260℃ 錫(xī)盆中10秒 
    失效標準(Failure Criterion):根據電測試(shì)結果 
    具體的測試條件和估算結果可參(cān)考(kǎo)以下標準:MIT-STD-883E Method 2003.7;EIAJED- 4701-B106。
    三、耐久性(xìng)測(cè)試項目(Endurancetest items )
    Endurance cycling test, Data retention test 
    ①周期耐久性測試(EnduranceCycling Test )
    目的:評估非揮發性memory器件在多(duō)次讀寫算後的持久性能
    測試(shì)方法:將數據寫入memory的(de)存儲單元,在擦除數據(jù),重複這個過程多次
    測試條件:室溫,或者更高(gāo),每個數據的讀寫次數(shù)達到(dào)100k~1000k
    具體的測試條件和估算結果可參考以下標準:MIT-STD-883E Method 1033
    ②數據保持力測試(Data Retention Test)
    目的:在重複讀(dú)寫之後加速非揮發性memory器件存儲節點的電(diàn)荷損失 
    測試方法:在高溫條件下將數據寫入memory存儲單元後,多(duō)次讀取驗證單元(yuán)中的(de)數據 
    測試條件:150℃ 
    具體(tǐ)的測(cè)試條件和估(gū)算(suàn)結果可參(cān)考以下標準:MIT-STD-883E Method 1008.2;MIT-STD-883E Method 1033 
    在了(le)解上述的IC測試方法之後,IC的設計製造(zào)商(shāng)就需要根據不用IC產品的性能,用途以及需要測試的目的,選擇合適的測試方法,限度(dù)的降(jiàng)低IC測試的時間和成本,從而有效控製IC產品的質量和可靠度(dù)。
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本文標簽(qiān): 高壓加速老化試驗箱

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