半導體器件(HAST)強加速穩態濕熱試驗方法
作(zuò)者:
salmon範
編輯:
瑞(ruì)凱儀器(qì)
來源:
www.tuyatang.com
發布日期: 2021.06.17
1、範圍
GB/T 4937的本部分(fèn)規(guī)定了強加速穩態濕熱試驗(HAST)方法,用於(yú)評價非氣(qì)密封裝半導體器件在潮濕的環境下的可(kě)靠性(xìng)。
2、強加速穩態濕熱試驗(HAST)一般說明
強(qiáng)加速穩態濕熱試驗通過施加(jiā)嚴酷的溫度、濕度和偏置(zhì)條件來加速潮氣穿透外部保護材料(灌封或密封)或外部保護材料和(hé)金屬導體的交接麵。此試驗(yàn)應力產生的失效機理通常與(yǔ)“85/85”穩態溫濕度偏置壽(shòu)命試驗(見IEC
60749-5)相同。試驗方法可以從(cóng)85℃/85% RH穩態壽命(mìng)試驗或本試驗方法中選擇。在執行兩種試驗方法時,85℃/85%RH穩態壽命試驗的(de)結果優先於強加速穩態濕熱(rè)試驗(HAST)。
本試驗方法應(yīng)被視為破壞性試驗。
3、試驗設備
試驗需要一台能連續(xù)保持規(guī)定的溫度和相對濕度的壓力容(róng)器(qì)——HAST試驗箱(xiāng),同時提供電連(lián)接,試驗(yàn)時給器件施加規定的偏(piān)置條(tiáo)件。
3.1 HAST試驗箱簡(jiǎn)介
草莓视频网站儀器HAST設備用於評估非(fēi)氣密性封裝IC器(qì)件、金屬材料等在濕度環境下的(de)可靠性。通過溫度、濕度、大氣壓力條件下應用於加速濕氣的滲透,可通過外部保護材料(塑封料或封(fēng)口),或(huò)在(zài)外部保護材料與金屬傳導材料之間界麵。它采用了嚴格的溫度,濕度,大氣壓、電壓條(tiáo)件,該條件會加速水分滲透到材料內部與金屬導體之間的電化學反應。失效機製:電離腐蝕,封裝(zhuāng)密封性(xìng)。
產品特(tè)點:
可定製BIAS偏壓端子組數,提供產品通電測試
通過電腦安全便捷的遠程訪問
多層級(jí)的敏感數據保護
便捷的程序入口、試驗設置和產品監控(kòng)
試驗數據可以導出為(wéi)Excel格式並通過USB接口進行傳輸
可提(tí)供130℃溫度、濕度85%RH和230KPa大氣壓的測試條件
3.2 受控條件
在(zài)上升到規定的試驗環境和從規定的試驗環境下(xià)降過程中,HAST試驗箱應能(néng)夠提供受控的壓(yā)力、溫度(dù)和(hé)相對濕度條件。
3.3 溫度分布
推薦記錄每一次試驗循環的(de)溫度分布,以便驗(yàn)證應力的有效性。
3.4 受(shòu)試器件
受試器件應以小化(huà)溫度梯度的方式安裝。受試器(qì)件應放(fàng)置在箱體內距箱體內表麵至(zhì)少3cm,且不應受到發熱體的直接輻射(shè)。安裝器(qì)件的安裝板應對蒸(zhēng)汽循環的(de)幹擾小。
3.5 小化(huà)汙染物釋放
應認真選擇安裝板(bǎn)和插座的材料,將汙染物的釋放減到少,將由於侵蝕和其他機理造成的退化減到少。
3.6 離子汙染
應對HAST試驗箱(插件櫃、試(shì)驗(yàn)板(bǎn)、插(chā)座、配線儲存容(róng)器等)的離子汙染進行控製,以避免試驗樣品受到汙(wū)染。
3.7 去離子水
應使用室溫下(xià)電阻率小(xiǎo)為1X104 Q. m的去離子水(shuǐ)。
4、試驗條件
試驗條件由溫度(dù)、相對濕度和器件上施加規定偏置的持續時間組成。
4.1典型的溫度、相對濕度和持續時間.
溫度、相對溫度和(hé)持(chí)續時間見表1。
4.2偏置準則
根據下列準則施加偏置:
a) 小功率耗散;
b)盡可能多的交替(tì)施加引出端偏置;
c) 芯片上相鄰的金屬化線之間的電壓差盡可能的高;
d)在工作(zuò)範圍的電壓;
注:.上述準則(zé)的(de)優先選擇應基於結構和特定的器件性能。
e) 可采用兩種偏置中任意一種滿足上述(shù)準則,並取嚴酷度較高的一-種:
1)持續偏置
持續施加直流偏置。當(dāng)芯片溫(wēn)度高於試驗箱環境溫(wēn)度≤10℃或受試器件(DUT)的熱耗散<200 mW且不知道芯片的溫度時,持續偏置比循環偏置(zhì)嚴酷。如(rú)果受試器件(DUT) 的熱耗散超過200 mW ,應計算芯片的(de)溫度。如(rú)果芯片溫度超過試驗箱環境溫度(dù)5℃或5℃以上,應把芯片溫度與試驗環境溫度的差值記錄在試驗結果中,加速的失效(xiào)機理將受(shòu)到影響;
2)循(xún)環偏置
試驗(yàn)時施加在器件上的直流電壓按照(zhào)適當的頻率和占空比周(zhōu)期性的中(zhōng)斷。如果偏置條件導致芯片(piàn)溫度高於試(shì)驗箱溫度,其差值△Tja超過10℃,且對特定的器件類型為佳(jiā)的偏置(zhì)條件時,循環偏置將比持續偏置嚴酷。功率耗散產生的熱量驅散了芯片表麵和周圍(wéi)與失效機(jī)理有關係的濕氣。在關斷期間,器件沒有功率耗(hào)散時濕氣匯集於芯片。對大部分塑封微電路(lù),受試器件(DUT)好采用50%的占空比進行循環(huán)偏置。對於封裝厚度≥2mm的器件其循環施加電壓時間應≤2h,封裝厚度(dù)<2mm的器件其循(xún)環施(shī)加電壓時間(jiān)應≤30
min。基於已知(zhī)熱阻和耗散(sàn)計算出的芯片溫度超過HAST試驗(yàn)箱(xiāng)環境溫度5℃或5℃以上時,芯片溫度應記錄在試驗結果中。
4.3選擇和記錄
選擇持續偏置或循環偏置的標(biāo)準和是否記錄芯片溫度超過試(shì)驗(yàn)箱環境(jìng)溫度的差值按表(biǎo)2中的規定。
5、程序
受試器件應以一定的方式安裝、暴露在規定的溫濕度環(huán)境中,並施加規定(dìng)的偏置電壓。器件應避免.暴露於過熱(rè)、幹燥或導致器件和電夾具上產生冷凝(níng)水的(de)環境中,尤其在試驗應力上升和下降過程中。
5.1上(shàng)升
達到穩定的溫度和相對濕度環境的時間應少於3h。通過保證在整個(gè)試驗時間內(nèi)試驗箱(xiāng)的幹球(qiú)溫度超(chāo)過濕球溫度來避免產生冷凝,並且上升的速率不能(néng)太快以確保受試器(qì)件(DUT)的溫度不低於濕球(qiú)溫度(dù)。在幹(gàn)燥的(de)實驗室(shì),試驗(yàn)箱的初始環境比較幹燥(zào),應保持幹球和濕球(qiú)溫度,使加熱開始(shǐ)後(hòu)相對濕度(dù)不(bú)低(dī)於50%。
5.2 下降
階段(duàn)下降到比(bǐ)較小的正表壓(濕球溫(wēn)度大約104℃),為避免試驗樣品快速減壓,這段時間應足.夠長,但(dàn)不能(néng)超過3 h。第二階段(duàn)濕球溫度從104℃到室溫,可通過試驗箱的通風口來實現。此(cǐ)階段不限製時間,並且允許使用冷卻(què)壓力容器。在下降的兩個階段,都應通過保證在(zài)整個(gè)試驗時間內試驗箱幹(gàn)球溫度超(chāo)過濕(shī)球溫度來避免在器件上產生冷凝水,下降過程應保持封裝(zhuāng)芯片的模塑材料的潮氣含量。
而且階(jiē)段的相對濕度應不低於50%(見5.1)。
5.3試驗計時
試驗計時從溫度和相對濕度達到規定條件開始到下降開始時結束。
5.4 偏置
在上升(shēng)和下降(jiàng)階段可選擇是(shì)否施加(jiā)偏置。器件加載後應在試驗計時開始前驗證偏置,在試驗計時結束後且在器件移出試驗箱(xiāng)之前(qián)也要驗證偏置。
5.5測試
下降階段結束後(hòu)48h內進行電測試。
注:對於中間測量,在下降階段(duàn)結束後96 h內器件恢複應力(lì)。器件從HAST試驗箱移出後,可(kě)以通過把器件放入密封的潮濕袋(無幹燥(zào)劑)中來減小器件的潮氣釋放速率。當器件放入密(mì)封袋時,測試時間計時以器件暴露於(yú)試驗室環境中潮氣(qì)釋放速率的1/3來計算。這樣通過把器件裝人潮氣密封袋中測試時間可延長到144h,壓力恢複時(shí)間也延長到288
h。
5.6處理
器(qì)件、安裝板和設備應(yīng)使用適當的保護處理,在強加速(sù)潮濕試驗(yàn)過程中,汙染控製是(shì)很重要的。
6、失效判據
在(zài)強(qiáng)加速穩態濕熱試驗後,如果器件參數超過極限值,或按適用的采購(gòu)文件和數據表中規(guī)定的正常和極限(xiàn)環境中不能(néng)驗證其功(gōng)能時,器件視為失效。
7、安全性
應當遵守設備廠商的建議(yì)和地方安全規章製度。
8、說明
有關的采購文件中(zhōng)應規定如下的內(nèi)容:
a)試(shì)驗持續時間(見 4.1);
b) 溫度(見4.
1);
c) 試驗後測量(見5.5);
d) 偏置條件(見4.2);
e)在試驗期間 如果芯片溫度高於試驗箱環境溫度5 ℃以上時芯片的溫度(見4.2);
f) 如果使用循環偏置(zhì),則規定偏置的頻率和占空比(bǐ)(見4.2)。