溫度循環試驗(yàn)是將樣品放在高低(dī)溫交(jiāo)變濕熱試驗箱中(zhōng),使樣品處於不斷循環變化的高(gāo)溫與低溫作用下,利用不同材料熱膨(péng)脹(zhàng)係數的不同,使(shǐ)試(shì)樣因熱應力的作用而產生形變;不斷拉伸與擠壓的過程中,存(cún)有缺陷的地方在應力提升(shēng)的作用下(xià),隨(suí)著(zhe)溫度循環的加載而不斷擴展,終發展成失效(xiào)(圖1)。因此,通(tōng)過溫度循(xún)環試驗(yàn)可以高效且充分地放大(dà)產(chǎn)品的潛在(zài)缺陷,以剔除易早(zǎo)期失效的產品。該試驗主要(yào)用於電(diàn)子組件的電氣性能、機械性(xìng)能等測試。
目前,在溫度循環(huán)試驗中運用得比(bǐ)較多(duō)的標準是(shì)MIL- STD-883G 1010。 8、JESD22-A104-B以及(jí)GB/T2423-2002[4]。MIL-STD883G是美國軍標《微電子器(qì)件試驗方法標準》的新版本,MILSTD-883自1968年問(wèn)世以來發展到今天的G版,經(jīng)過了將近20次的改進,初主要是(shì)針對(duì)軍工設備的,其內容涉及到微電。子器件的材料檢測(cè)和控製,設計檢驗的控製,工(gōng)藝檢驗和控製,篩選、鑒定和質量一致性等(děng)各個領域,對微電子器件可靠性的提(tí)高有著重(chóng)要的作用。現今,MIL- STD-883已作為許多國家標(biāo)準的藍本而用於高可靠性(xìng)的微電子器件試驗中。例如,我國的國軍標GJB548-88是以1983年的MIL STD-883C版為藍本,G]B548-96是以1991年的D版為藍本(běn)製定(dìng)的。
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