集成電（diàn）路芯片高低溫測試（shì）的（de）應用
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發布日期： 2020.06.13
近幾年來，本實驗室連續開展了大規模集成電路的新品檢測（cè）工作，如偵察運算電路、BCH 編譯碼器、CRT地址產生電（diàn）路及接口電路等，基本上都是規模較大的CMOS電路，對靜電敏感，工作速度較（jiào）快（kuài）。在（zài）高、低溫電性能測試中成（chéng）功地采用了該集成電路高、低溫電性能測試係統，積累了一些有益的經驗。通過實際應用發現，必須注意以下一些具體的環（huán）節，如測試板的隔離、防潮，被測器件的靜（jìng）電保護（hù），被測器件（jiàn）芯片溫度的確定等問題、才（cái）能快速、準確地完成CMOSVLSI的高、低溫電性能測試。
在高、低溫測試時，將變溫頭直接罩在測試設備的DUT板上，如果不采取隔離措施，測試設備的DUT板將會處於+125℃的高溫和-55℃的低溫環境，勢必影響測試係統的性能和測試結果。在實際測（cè）試時，我（wǒ）們將一種防（fáng）靜電的隔熱膠墊放在測試係統的DUT板上（shàng），在測試夾（jiá）具處開一小口將測試夾具露出，這樣對測試係統的DUT板起到（dào）一定的保護作用，但如果DUT板長期處於高溫或低（dī）溫（wēn）環境，隔熱膠（jiāo）墊的（de）作用將大為減弱，基於此，我們在設置溫度控製程序時對它進行了調整。在高溫（wēn）測試（shì）時，將溫度控製程序設為，在每個樣（yàng）品測試完（wán）成換（huàn）樣品前，讓變溫頭向DUT板送涼氣流10
s，然後才結（jié）束溫控程序換樣品，這樣就加速了DUT板的（de）散熱，將高溫對DUT板造成的影響降到。在低溫（wēn）測試時，將溫度（dù）控製程序（xù）設為，在每個樣品測試完成換樣品前，讓變溫頭向DUT板送熱氣流10s，然後才結束溫控程序換樣品，這樣DUT板上的溫度（dù）已接（jiē）近室溫，在換樣（yàng）品時就避免了環境溫度與（yǔ）低溫的（de）對（duì）流，造成DUT板凝水。對於被測器件的防靜電措施有：隔熱膠墊（diàn）采用（yòng）防靜電材料;遮（zhē）蓋被測器件的小罩由導熱防靜電材料所製。
在用該高低溫循環試驗箱做溫度測試時，係統有溫度傳感器叮測到器件底部的溫度，雖然氣流是垂（chuí）直於DUT表麵而（ér）下，但DUT的底部還是（shì）屬於（yú）器件表（biǎo）麵，如何確定DUT芯片溫度的建立時間，是個比較複雜的問題。因（yīn）為DUT芯（xīn）片溫（wēn）度的建立時間受很多內素的影響，如DUT的材料、形狀、尺寸，溫度以及氣體流量的大小等因素的影響。不同的器件（jiàn）芯片溫度的建（jiàn）立時間（jiān）是不一（yī）樣（yàng）的溫度建立時間是指係統變溫(升（shēng）溫獲降溫)開始，到建立（lì）新（xīn）的熱平衡，即被（bèi）測器（qì）件芯片溫度達到設定值這一段時間。某公司給出了1000Ω電阻（zǔ）溫（wēn）度探測器(RTD)的溫度建立時間曲線，如圖3所（suǒ）示。圖3表明不同的（de）RTD其溫度（dù）建立時間是不同的。
DUT芯片溫度的建立（lì）時間對（duì）於高、低溫測試是非常（cháng）重要的指（zhǐ）標，隻有在大於建立時間的（de）時間段內測試，測試的數（shù）據才能真正地（dì）反映設定溫度點的性能及具有重（chóng）複性。對（duì）於（yú）複雜的大規模集成電路，我們采取在開始高、低溫測試前，通過反複試驗（yàn），確定被測器件芯片溫度的建立時間。在熱流係統顯示達到設定溫度開（kāi）始，對被測器件進行多次電參數測試（shì），當其電參數趨於穩定並具有可重複性時，將這段時間確定為DUT心片溫度的建立時間。經過反複（fù）試驗發現，係統的溫度傳感器（qì）測得的被測器件底部溫度（dù）與芯片溫度基本一致。
高低溫測試設備（bèi）推薦
草莓视频网站RK-TH-408高低溫循環試驗箱（Temperature Cycling Test）是（shì）利用（yòng）高溫低（dī）溫循環變化測試來評估集成電（diàn）路IC芯片等產品對溫度變化的抵抗能力。主要（yào）是利用高溫低溫循環變化，來測試電（diàn）子元器件、半導體、IC芯（xīn）片等產品（pǐn）上各層（céng）不同物質之熱膨脹俘數不同，而可能引起之故障機製。在此測試中因所用之溫度介質為氣相，故一般亦稱為air to air測試。
滿足標準
草莓视频网站（kǎi）RK-TH-408高低溫循（xún）環試驗（yàn）箱滿足（zú）GB/T2423.1(IEC60068-2-1)；
GB/T2423.2(IEC60068-2-2)；
ISO16750；
GB/T14710；
GB/T13543；
JESD22等係列標準中的溫度試驗。
RK-TH-408高低溫循環試驗箱規格（gé）參數
